当研究室では、その半導体技術、特にシリコンナノテクノロジーの更なる高度化に貢献するために、材料科学からプロセスインテグレーション・デバイス化技術にわたる横断的な研究を推進しています。

当日は、実際に活用している最先端シリコンプロセス装置の見学とともに、ナノ構造評価のデモンストレーションを行います。

「感じてみよう！雷と極低温の世界」

雷が近くで落ちるとすさまじい音と光が出ますが，これを実験装置で再現できます。ピカチュウでおなじみの10万ボルトの放電の音と光を体験してみましょう。また，リニア新幹線は超電導を使用しますが，このためには液体窒素で-196℃まで冷やす必要があります。このような極低温の世界を覗いてみましょう。

梅原研究室は，機能表面の創製や評価技術の開発を通じてグリーンイノベーションを目指します

摩擦や摩耗を低減させる新材料の開発は燃費改善や機械の長寿命化に有効です．研究室では炭素系硬質薄膜の新しい成膜技術の開発を通じて低摩擦・高耐摩耗性を有する新材料の開発を目指しています．

炭素系硬質薄膜の摩擦・摩耗メカニズムを解明するために様々な分析手法を駆使して機能性表面の評価技術を開発してきました．研究室では，【反射分光，X線光電子分光，オージェ電子分光，ラマン分光，赤外線分光など】の分析手法を用いています．

秦研究室では，MEMS (Micro Electro Mechanical Systems： 微小電子機械システム)など微小な集積機械デバイスを実現するために，新しい微細加工法やMEMS用新材料開発も含めた横断的な研究を行っています．

1． MEMS・マイクロセンサ

2． コンビナトリアル法によるMEMS用機能性材料・エネルギー材料探索

金属表面上の疲労き裂の修復技術の開発：疲労き裂への電流印加により、き裂の修復を図り，そのメカニズム解明を目指している．

マイクロ波原子間力顕微鏡の開発：導電率，誘電率，透磁率等の電気的特性をサブミクロンオーダーで検出する装置の開発を目指している．

ナノワイヤ面ファスナーの創製：ナノワイヤは集積化が進む電子デバイスなどへの応用が期待されている．本研究は機能性ナノワイヤ面ファスナーの創製を目指している．