| No. | 10 |
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| 学科 | マイクロ・ナノ機械理工学専攻 機械・航空宇宙工学科 |
| 研究室名 | マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ(秦研) 秦 誠一教授 |
| 見学施設名 | 工学部3号館2階212室 |
| 見学内容 | 秦研究室では，MEMS (Micro Electro Mechanical Systems： 微小電子機械システム)など微小な集積機械デバイスを実現するために，新しい微細加工法やMEMS用新材料開発も含めた横断的な研究を行っています． 1． MEMS・マイクロセンサ 2． コンビナトリアル法によるMEMS用機能性材料・エネルギー材料探索 |
| 1回あたりの受入れ可能人数 | 最大10人 |
| 見学時間 | 10：00～17：00 随時見学可能 |
| 予約・受付方法 | 予約不要 (IB館で案内) |
| 申込先メールアドレス | - |