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学科 | 電子工学専攻 電気電子情報工学科 |
研究室名 | 機能集積デバイス研究室(宮﨑研) 宮﨑 誠一教授 |
見学施設名 | IB電子情報館 北棟1階105室 |
見学内容 | 当研究室では、その半導体技術、特にシリコンナノテクノロジーの更なる高度化に貢献するために、材料科学からプロセスインテグレーション・デバイス化技術にわたる横断的な研究を推進しています。 当日は、実際に活用している最先端シリコンプロセス装置の見学とともに、ナノ構造評価のデモンストレーションを行います。 |
1回あたりの受入れ可能人数 | 最大10人 |
見学時間 | 13:00~13:20 13:30~13:50 14:00~14:20 14:30~14:50 |
予約・受付方法 | 事前予約 |
申込先メールアドレス | makihara(at)nuee.nagoya-u.ac.jp ※(at)は@に置き換えて下さい。 |