No. 1
学科

電子工学専攻

電気電子情報工学科

研究室名

機能集積デバイス研究室(宮﨑研)

宮﨑 誠一教授

見学施設名 IB電子情報館 北棟1階105室
見学内容

当研究室では、その半導体技術、特にシリコンナノテクノロジーの更なる高度化に貢献するために、材料科学からプロセスインテグレーション・デバイス化技術にわたる横断的な研究を推進しています。

当日は、実際に活用している最先端シリコンプロセス装置の見学とともに、ナノ構造評価のデモンストレーションを行います。

1回あたりの受入れ可能人数 最大10人
見学時間

13:00~13:20

13:30~13:50

14:00~14:20

14:30~14:50

予約・受付方法 事前予約
申込先メールアドレス makihara(at)nuee.nagoya-u.ac.jp
※(at)は@に置き換えて下さい。