出展タイトル	材料加工で拓くマイクロ･ナノの世界 ～材料創製からデバイス応用まで～
出展者	秦 誠一 櫻井 淳平 溝尻 瑞枝
所属	マイクロ・ナノ機械理工学専攻 （機械・航空宇宙工学科）
研究室ホームページ	http://mnp.mech.nagoya-u.ac.jp/jp/
展示概要	秦研究室では、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)やマイクロアクチュエータ、医療デバイスなど微小な集積機械デバイスを、微細加工と機械、材料の視点から研究しています。新機能を持ったマイクロデバイス研究のため、コンビナトリアル技術を用いて、新しいMEMS用材料の探索を行っています。また、従来のリソグラフィ技術では困難な曲面上に金属微細3次元積層構造やデバイスを直接製作するプロセスとして、金属酸化物ナノ粒子を還元焼結する、フェムト秒レーザ還元直接描画法の研究を行っています。これらの新材料・新プロセスを用いて、新しいマイクロデバイスの応用研究も行っています。
キーワード	ＭＥＭＳ、コンビナトリアル、機能性材料、超短パルスレーザ、３Ｄプリンティング