岩田 聡
加藤 剛志
前田 知宏

(エコ)微細加工ナノテクプラットフォーム
量子工学専攻

微細加工プラットフォームでは、エコトピア科学研究所・先端技術共同研究施設、プラズマナノ工学研究センター、ベンチャー・ビジネス・ラボラトリーの3つの研究施設に設置されている装置群を利用して、薄膜形成、リソグラフィー、エッチング、等の最先端機器・技術によりナノ材料、ナノプロセス、ナノデバイス等の研究開発を幅広く支援しています。利用形態は機器利用、技術補助、技術代行があり、外部研究機関、大学、民間企業の研究開発者の方々に広く開放しています。

材料