出展タイトル
MEMSとマイクロ流体システム
出展者
新井 史人
所属
マイクロ・ナノシステム工学専攻
研究室名等
新井研究室
研究室ホームページ
展示概要
MEMSとナノテクノロジーを基盤としたロボティクス・メカトロニクスに関する研究を行なっています。磁気駆動マイクロアクチュエータ、マイクロ流体チップ、毛細血管モデル、医療用マイクロデバイス、水晶振動子を用いた小型力センサ、オンチップロボットによるマイクロ流体チップ内での高速細胞操作・計測・加工などについて展示します。また、この機会にMEMS技術や微細加工(フォトリソグラフィ、ウェット・ドライエッチング、微細めっき加工など)、マイクロ流体チップの製作、システム構築について技術的な相談に応じます。
キーワード
MEMS、マイクロ流体チップ、マイクロアクチュエータ、マイクロセンサ、ロボティクス・メカトロニクス、バイオ・メディカル応用