展示概要
超々大規模集積回路や太陽電池などに用いられるシリコンナノエレクトロニクスは、現代社会の発展を支える重要技術です。私達の研究室では、そのさらなる革新に向けて、ゲルマニウム、錫や炭素の混晶からなる新規Ⅳ族半導体材料の創成とその応用技術構築を目指しています。高速・省電力な高移動度トランジスタ、高効率太陽電池、Ⅳ族系半導体で構成される光電子デバイスの実現を目標に、高品質エピタキシャル成長、結晶欠陥制御、金属-絶縁膜-半導体（MOS）界面構造制御、金属/半導体低抵抗接合形成技術などに関する材料・プロセス・デバイスの統合的な研究開発を進めています。