プラズマによる新しいモノづくり

工学研究科 電子情報システム専攻 教授

　放電をおこすとプラズマ状態となり、イオン・電子・化学活性種が多量に発生します。
　このプラズマをうまく使って様々な加工を行う新しいモノづくりのローテクからハイテクまでを紹介します。