出展タイトル	名古屋大学の機器を使ってみませんか？ ～微細加工プラットフォームのご紹介～
出展者	岩田 聡 加藤 剛志 大住 克史
所属	未来材料・システム研究所 （高度計測技術実践センター）
研究室ホームページ	http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/
展示概要	微細加工プラットフォームでは、最先端の装置群を民間企業の研究開発者に広く開放しています。各種材料群（半導体材料、磁性体材料、誘電体材料、セラミックス系材料、有機系材料など）の「薄膜の形成」 、 「マイクロ・ナノレベルの微細加工」および「材料特性の評価」が可能です。装置の利用だけでなくノウハウの提供を通して、新規ナノ材料、ナノプロセス、ナノデバイスの研究開発を幅広く支援しています。研究者自身による機器利用を始め、技術補助、技術代行もありますので、まずはお気軽に御相談下さい。
キーワード	研究・開発支援、機器利用、微細加工、ナノ、マイクロ、薄膜、デバイス、微細構造解析、分子・物質合成、ナノテクノロジープラットフォーム