出展タイトル
MEMSのための材料探索,マイクロ・ナノ加工
出展者
秦 誠一
櫻井淳平
溝尻瑞枝
所属
マイクロ・ナノシステム工学専攻
研究室ホームページ
展示概要
秦研究室では、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems: 微小電子機械システム)やマイクロアクチュエータ、医療デバイスなど微小な集積機械デバイスを、微細加工と機械、材料の視点から研究しています。また、新材料開発のためにコンビナトリアル技術に着目して、新しいコンビナトリアル成膜法や材料評価法を確立し、MEMS用機能性材料やエネルギー材料探索を精力的に行っています。更に、従来のリソグラフィ技術では困難な曲面上に金属微細構造やデバイスを直接製作するプロセスとして、金属酸化物ナノ粒子を還元焼結する、フェムト秒レーザ還元直接描画法の研究を行っています。
キーワード
MEMS,コンビナトリアル,機能性材料,超短パルスレーザ,3Dプリンティング