服部 正
新井 史人

マイクロ・ナノシステム工学専攻

LIGA(リソグラフィー・電鋳・転写)による微細3次元加工技術は、現在の機械過去技術では到達できないμmレベルの微細3次元加工が可能であり、医療・エネルギー・情報通信分などの先進分野への応用が期待されています。ここでは超高感度X線イメージングなど医療・エネルギーへの展開について紹介します。

微細3次元加工、医療応用、エネルギー応用