出展タイトル
先進プラズマ技術による産業イノベーション
出展者
堀 勝
関根 誠
近藤 博基
竹田 圭吾
所属
電子情報システム専攻
研究室名等
堀・関根研究室
研究室ホームページ
展示概要
プラズマプロセス技術は、ULSI製造やディプレイ・太陽電池製作をはじめとし、機能性材料の合成、部材表面改質、そして近年では医療・バイオ応用など様々な分野で注目を集めています。このプラズマプロセスでは、プラズマ内部で生成される反応活性種「ラジカル」が極めて重要な働きをすることが知られています。このラジカルの計測にはこれまで大型レーザー装置が必要でしたが、我々は小型で簡便な光源の開発に成功したそれを用いたラジカルモニター技術および装置の開発に成功しました。今回の展示では、我々のグループで開発されたラジカルモニターとともに、それをもとに開発されたラジカル制御技術について紹介致します。