堀 勝
関根 誠
近藤 博基
竹田 圭吾

工学研究科 電子情報システム専攻

ULSI製造やディプレイ・太陽電池製作をはじめとし、機能性部材合成、表面改質、医療・バイオなど様々な応用分野で注目されるプラズマプロセスの最先端技術を紹介します。プラズマによるナノのものづくりを担うラジカルを計測するラジカルモニターや、簡便に大気圧環境下でプラズマ処理ができるAC励起大気圧プラズマ源、注目を集めるグラフェン材料の一つであるでカーボンナノウォールなどを展示します。また、その他多くの我々が独自開発したプラズマ技術の応用例について紹介致します。更に独自技術であるラジカルモニターの技術を基盤として開発した次世代プラズマプロセスを実現する自律型プラズマナノ製造技術・装置も紹介します。