石川 健治
田嶋 聡美
海老 塚昇
金 淵俊

工学研究科 附属プラズマナノ工学研究センター

エレクトロニクス分野プラズマエッチング加工
　サブナノメータ微細加工への挑戦
　ダメージレス加工技術の創製
有機ポリマーのプラズマ活用した機能化
　グリーンプロセスによる化学修飾の機構解明
バイオナノ分野プラズマメディシン
　プラズマ生成するラジカル・光の効能
ガス分子のプラズマ解離の量子化学計算
　活性種生成の機構解明