出展タイトル
シリコンナノエレクトロニクスのための新材料薄膜と界面制御技術
出展者
財満 鎭明
中塚 理
田岡 紀之
坂下 満男
竹内 和歌奈
所属
工学研究科 結晶材料工学専攻
研究室名等
財満研究室
研究室ホームページ
展示概要
シリコン集積回路を中心とする半導体ナノテクノロジーの日々の進化によって、現代の高度情報化社会の発展は支えられています。集積回路のさらなる高速化、省電力化、高機能化を実現するために、私たちは、次世代の半導体材料として注目されるゲルマニウムや様々な絶縁膜、配線金属材料の物性や材料同士の界面物性制御に関する研究開発を進めています。また、半導体結晶成長技術の応用によって、従来なかったⅣ族系半導体結晶材料を創成し、エレクトロニクス応用のみならず、新世代の太陽電池や発光・受光デバイスへの応用技術を開拓しています。
キーワード
半導体、ナノテクノロジー、集積回路、結晶成長、薄膜、表面・界面