プラズマによる産業革新

工学研究科 電子情報システム専攻 教授

プラズマは半導体産業の根底を支える超微細化技術であると同時に光源、ディスプレイ、材料、バイオ、食品、環境産業までその応用がドラマティックに広がっています。世界では、産業界の多岐のニーズへ対応し、未来産業技術の開拓を目指してプラズマ研究拠点が構築されています。このような産業応用プラズマの魅力を紹介し、プラズマの産業への波及効果と将来像について述べます。