シーズNo.　７３　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

環境調和型超微細加工システム

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎		研究段階（該当に○）
〔　○〕材料（No　02　）、 〔　○〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　08　）、 〔　◎〕情報通信（No　14　）〔○　〕機械（No21　　）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）、 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　）〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）		基礎　 　　　 応用
			ａ	ｂ	ｃ	ｄ
						○
キーワード(５つ以内)	超微細加工，ナノテクノロジー，光計測，材料構造制御

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
教授・堀　勝		名古屋大学大学院工学研究科 電子情報システム専攻 電子工学分野 ナノプロセス研究グループ
電　話	052-789-4420	Ｅ– mail	hori@nuee.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3462	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ	http://133.6.159.99/~goto/index.html

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		地球温暖化現象を防止するための環境調和型のプロセス技術として，フロンガスを使用しないで，極微細加工・薄膜堆積を実現するための技術を開発している．フロンガスに替わってコンパクトな固体ソースを用いて超微細加工を実現する技術，テフロン薄膜を形成する技術，フロンガスからナノ・マイクロボールを創製する技術・システムを創製する．
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		技術の基礎実験は，終了している． 本方法によって，フロンガスを使用しないコンパクト安全なシステムによって，ＵＬＳＩ，マイクロマシン，バイオ材料用高精度超微細加工，テフロン膜の形成，テフロンライクボールの形成が可能になっている．
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		ナノテクノロジーを実現する上で必要な環境調和型のプラズマプロセスが実現できる．フロンガスを使用しないで微細加工が実現できるシステムを実現したことに独創性がある．この手法を用いることによって，基本的には，フロンガスボンベフリーの新しいガラス基板やセラミックの超微細加工およびテフロンライクの薄膜形成・微粒子生成技術が創出される．
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		本地域におけるセラミックや半導体材料を中心とした産業において，省資源，省エネルギー，高効率化を有する環境調和型のプロセス技術を提供できる．コンパクト，安全なプロセス装置や高度加工技術を創出することが可能．産業界へのインパクトは極めて大きい．
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		材料・デバイスメーカーとの共同研究が可能．共同研究先のニーズに合わせてプロセスを構築し，その高精度化が実現可能．基盤研究は終了し，実用化のための技術基盤に対する知見は集積されている． ３年間程度で実用化が可能と考えられる．
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
	被処理ガスの固体化方法および材料の処理方法		後藤俊夫・堀勝	名古屋大学	〔　〕有 　〔○〕無

　注意事項：　�@ 記入事項が多い場合は、縦方向に枠の大きさを広げて下さい。

　　　　　　　�A 掲載して頂く技術シーズはシーズ集・ホームページ等での公開を前提に記載していただいています

　　　　　　 　　ので非公開情報の箇所は「非公開」と御記入下さい。