シーズNo.　５２　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

炭素系超硬質・耐摩耗性薄膜の開発と応用

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎		研究段階（該当に○）
〔○〕材料（No０４）、 〔　〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　　）、 〔　〕情報通信（No　　） 〔　〕機械（No　　）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）、 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　） 〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）		基礎　 　　　 応用
			ａ	ｂ	ｃ	ｄ
					○
キーワード(５つ以内)	超硬質，カーボン膜，表面処理，薄膜，耐摩耗性

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
教授・高井　治		名古屋大学 エコトピア科学研究機構 ナノマテリアル科学研究部門
電　話	052-789-3259	Ｅ– mail	takai@plasma.numse.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3260	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ	http://plasma.numse.nagoya-u.ac.jp

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		プラズマプロセスを利用し，炭素系の超硬質薄膜の開発を行う。現在，ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ），窒化炭素など，炭素系の硬質膜および耐摩耗性膜が注目されている。この開発と産業への応用をめざす。自動車産業，工具産業，電子産業，バイオ産業など，各種産業において，事業化が可能である。
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		アークイオンプレーティング，プラズマＣＶＤ，スパッタリングなどのプラズマを利用したプロセスにより，グラファイト，炭化水素系ガスなどを原料にして，ＤＬＣ，窒化炭素などの新規な硬質薄膜を作製し，性能を評価する。ナノインデンテーション装置により，薄膜の硬度，耐摩耗性，弾性率など，機械的特性を評価する。また，ボールオンディスク試験により，摩擦係数，摩耗特性を評価する。
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		シールド型アークイオンプレーティングにより，世界に先駆け，硬質なアモルファス窒化炭素薄膜，ＤＬＣ薄膜が開発できた。また，新規のスパッタリング法，プラズマＣＶＤ法を開発しており，プロセス開発に新規性・独創性が高い。使用材料は，炭素を主体としており，安全性が高い。１００℃付近の低温で，コーティングができることも大きな特長である。 電子放出特性，潤滑性も高く，電子応用分野への応用可能性も大きい。
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		自動車産業，電子産業，素材産業，光学産業，バイオ産業など応用分野は広く，高い成果が期待できる。地場産業へも応用可能である。現在，一部実用化が進んでおり，今後，応用分野が広がり，また使用実績が進めば，産業界へのインパクトは大きい。
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		自動車関連企業，電子機器企業，切削工具企業，金型関連企業，コーティングサービス企業等と，実用化に向け，共同研究が行える。実用レベルに応じ，実用化は可能である。さらに，要求事項に応じ，１年以上の開発期間を要する場合がある。
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
	硬質薄膜の製造方法および硬質膜		高井　治，瀧 優介，北川敏久	高井　治	〔　〕有 　〔○〕無

　注意事項：　�@ 記入事項が多い場合は、縦方向に枠の大きさを広げて下さい。

　　　　　　　�A 掲載して頂く技術シーズはシーズ集・ホームページ等での公開を前提に記載していただいています

　　　　　　 　　ので非公開情報の箇所は「非公開」と御記入下さい。