　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　シーズNo

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　シーズNo.　３０　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ

（シーズ）

大面積カーボンナノ構造形成技術

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎		研究段階（該当に○）
〔　◎〕材料（No　02　）、〔　〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　　）、〔○　〕情報通信（No　12　）〔○　〕機械（No21　　）、〔　〕医療・福祉（No　　）､〔　〕ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　）〔　〕環境（No　　）、〔　〕その他（No　　）		基礎　　　　応用
			ａ	ｂ	ｃ	ｄ
					○
キーワード(５つ以内)	超微細加工，ナノテクノロジー，材料構造制御，マイクロマシン技術

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
教授・堀　勝		名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻電子工学分野ナノプロセス研究グループ
電　話	052-789-4420	Ｅ– mail	hori@nuee.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3462	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ	http://133.6.159.99/~goto/index.html

研究開発の目的（研究の目的、最終的な事業化分野）		材料，デバイスなどの多くの分野で応用が高く期待されているカーボンナノチューブおよびカーボンナノフレークをメーター級の大面積に渡って形成する技術を実現する。種々のウエハおよび基板上に，カーボンナノチューブ，カーボンナノフレークを成長させるプロセス技術とその装置を事業化する。
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		１．高密度プラズマをメーター級の大面積に発生させる技術。２．プラズマ中のラジカルを制御し，カーボンナノ構造体を成長させるのに重要なラジカルの密度を飛躍的増加させ，カーボンナノ構造体を高速に成長させる技術。３．種々のウエハあるいは基板上に大面積に渡ってカーボンナノチューブやカーボンナノホーンを成長させる技術。４．ディスプレイ，触媒等の応用に対応した高品質のカーボンナノ構造体を成長させる技術。
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		独自の方法で大面積に渡って，10¹¹cm^-3の高密度プラズマを発生させるとともに，高品質カーボンナノ構造体を形成するのに必要なラジカル種の組成を高精度に制御する技術を有している。現在，ウエハ上のカーボンナノ構造体の形成技術は，実験室レベルで技術者や研究者がその構造や物性を評価しているにすぎないが，本技術により本格的にカーボンナノ構造体を成長させる量産技術を開発し，事業化する。
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		カーボンナノチューブやナノホーンは種々の応用が期待されている。本技術により，量産レベルでのカーボンナノ構造体の成長技術とその装置が開発されるため，その波及効果は極めて大きい。
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		材料・デバイスメーカーとの共同研究が可能．実用化のための技術基盤に対する知見は集積されている．3年間程度で実用化が可能と考えられる．
関　　連工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
	プラズマ発生技術		後藤俊夫・堀勝	名古屋大学	〔　〕有　〔○〕無