シーズNo.　２９　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

マイクロ波励起大気圧プラズマプロセス技術

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎		研究段階（該当に○）
〔　◎〕材料（No　02　）、 〔　○〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　08　）、 〔○　〕情報通信（No　14　）〔○　〕機械（No21　　）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）､ 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　）〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）		基礎　 　　　 応用
			ａ	ｂ	ｃ	ｄ
						○
キーワード(５つ以内)	超微細加工，ナノテクノロジー，材料構造制御，マイクロマシン技術

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
教授・堀　勝		名古屋大学大学院工学研究科 電子情報システム専攻 電子工学分野 ナノプロセス研究グループ
電　話	052-789-4420	Ｅ– mail	hori@nuee.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3462	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ	http://133.6.159.99/~goto/index.html

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		超先端微細加工，機能性薄膜形成および表面改質を超高速で実現するために，独自の方法で世界最高のプラズマ密度を達成した非平衡大気圧プラズマの発生技術に成功している．この方法により，マイクロマシン，バイオ材料の高速加工，カーボンナノチューブの高速堆積，金属，半導体，絶縁物の表面処理（窒化，撥水，親水性処理など）を低温で，真空フリーで実現できる．
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		１． ガラスの超高速加工 ２． 有機膜の超高速加工 ３． 金属，半導体，絶縁膜の表面処理（窒化による硬化：金型の超耐久性・対磨耗処理，撥水性，親水性） ４． カーボンナノチューブの高速堆積 ５． バイオ材料の表面処理 　以上を真空フリーのプロセスで実現（大幅なコストダウンと革新的装置開発）。
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		大気圧プラズマが幾つかの会社で実用化されているが，本技術はマイクロ波で励起した大気圧プラズマを開発し，通常の高周波励起大気圧プラズマよりも一桁密度が高いプロセス技術を世界で初めて確立した。したがって，究極の超高速プロセスを実現することが可能である。また，特殊な操作により，ガスの温度を室温程度まで下げることができるため，有機材料をはじめ種々の材料への加工，堆積，表面改質が可能である。
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		本地域におけるセラミック，有機膜，バイオや半導体材料を中心とした産業において，その開発の省資源，省エネルギー，高効率化を有する超高速プロセス技術を提供できる．真空を使わない新しい製造装置を創製できるため，産業界へのインパクトは極めて大きい．
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		材料・デバイスメーカーとの共同研究が可能．共同研究先のニーズに合わせてプロセスを構築し，その高精度化が実現可能．基盤研究は長年に渡って行い，実用化のための技術基盤に対する知見は集積されている． ２年間程度で実用化が可能と考えられる．
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
	大気圧プラズマ発生技術		後藤俊夫・堀勝	名古屋大学	〔　〕有 　〔○〕無