シーズNo.１１２　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

高潤滑性・高強度特性を有する新規窒化炭素膜の開発

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎	研究段階（該当に○）
〔○〕材料（No０４）、 〔　〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　　）、 〔　〕情報通信（No　　） 〔◎〕機械（No２２）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）、 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　） 〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）	基礎　 　　　 応用
		ａ	ｂ	ｃ	ｄ
				○
キーワード(５つ以内)

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
助教授・松室昭仁		名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ
電　話	052-789-3114	Ｅ– mail	matsumuro@mech.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3114	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		DLCを凌ぐ強度と耐摩耗性を有する薄膜材料でハードディスク，工具などをはじめとする様々な摺動部品の新規コーティング膜の開発
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		炭素の蒸着と窒素イオン照射により膜の微細構造を制御することにより硬さ20GPa以上，大気中および真空中でDLCより優れたトライボロジー特性を有する窒化炭素膜の成膜条件と硬度，密着性，摩擦係数，耐摩耗性を初めとする機械的性質との関係を明らかとして，実用の可能性を明らかにすること．
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		窒化炭素膜の特性は広く実用に供されているDLCと比べて特に耐摩耗性で格段に優れておりDLC膜に置き換わる可能性がある．しかし，その実用化は現在のところ一部のハードディスクのみで他の機械摺動部品には応用されていない．広い産業分野への実用化により機器の格段の性能向上が期待される．
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		自動車，工具，セラミックス関連産業が多い中部地区においては，開発した新規窒化炭素膜の応用範囲は広く性能・技術力の向上が期待できる．
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		炭素と窒素を利用するのみで，既存の物理的蒸着装置の簡単な改造とその装置での成膜条件の最適化により実用化可能である．
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
					〔　〕有 　〔　〕無

　注意事項：　�@ 記入事項が多い場合は、縦方向に枠の大きさを広げて下さい。

　　　　　　　�A 掲載して頂く技術シーズはシーズ集・ホームページ等での公開を前提に記載していただいています

　　　　　　 　　ので非公開情報の箇所は「非公開」と御記入下さい。