シーズNo.１１１　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

ナノチューブプローブによる高アスペクト比3次元加工法の開発

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎	研究段階（該当に○）
〔○〕材料（No０４）、 〔　〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　　）、 〔　〕情報通信（No　　） 〔◎〕機械（No２２）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）、 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　） 〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）	基礎　 　　　 応用
		ａ	ｂ	ｃ	ｄ
				○
キーワード(５つ以内)

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
助教授・松室昭仁		名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ
電　話	052-789-3114	Ｅ– mail	amatsumuro@mech.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3114	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		ナノマシン・ナノデバイスの実現には50 nm以下の加工寸法で，所望の領域を高アスペクト比加工可能な技術が必須となる．しかしながら，リソグラフィに代表される既存の微細加工技術では上記条件をすべて満たすことは困難である．そこで，最小直径1 nmを有するナノチューブを，走査型トンネル顕微鏡のプローブに応用し，トンネル電流によるナノスケール加工を行う．これにより，従来の加工限界を打破する革新的手法を確立するとともに，加工条件とその形態の関係から高アスペクト比加工を行える条件を明確にする．さらに，未だ明らかにされていない加工原理を解明する．最終的にデバイス開発などを試み，新しい超微細加工技術として確立させる．
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		・高アスペクト比を有するナノスケール穴加工法の確立：ナノチューブプローブと試料間に印加するバイアス電圧，トンネル電流および加工時間を変化させることによって，最適条件を解明する．また，線加工，面加工への発展を行う． ・加工原理および加工部周辺組織への影響の解明：電子顕微鏡による断面観察を行い，その解明を行う． ・ナノチューブプローブの作製法の確立：ナノチューブ分散液からのプローブの引き上げ法により行い，簡便かつ量産可能なプローブ作成法として確立する．
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		走査型トンネル顕微鏡による加工は原子一個の操作はすでに可能である．しかし，高アスペクト比加工が困難であるという問題がある．これは，一般に利用されているPtIrなどの探針では，その先端の曲率および開き角が大きいためである．本研究で利用するナノチューブは，ナノメータサイズかつ高アスペクト比という特徴的構造を有しており，直径および曲率は最小1 nm，開き角は0度であるため，加工寸法がシングルナノメートルから数十ナノメートルまでの幅の広い高アスペクト比ナノスケール加工が可能となる．
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		高アスペクト比を有するシングルナノメータスケール加工が，高い自由度で行えるため，最小スケールの革新的デバイス開発が可能となる．従って，産業界へのインパクトは大きい．
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		ナノチューブプローブ作製法と加工条件の解明により再現性の良い加工が行えるため，応用は容易である．
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
	SPM探針尖端部へのナノチューブの接合方法		松室昭仁	科学技術振興事業団	〔　〕有 　〔レ〕無