シーズNo.１０６　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

ナノラボラトリによる新規ナノデバイス創製

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎		研究段階（該当に○）
〔　〕材料（No　　）、 〔　〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　　）、 〔　〕情報通信（No　　） 〔○〕機械（No 21 ）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）、 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　） 〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）		基礎　 　　　 応用
			ａ	ｂ	ｃ	ｄ
				○
キーワード(５つ以内)	ナノ操作，ナノ加工，ナノ計測，カーボンナノ材料，ナノデバイス創製

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
教授・福田　敏男		名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 マイクロ・ナノ制御工学研究グループ
電　話	052-789-4478	Ｅ– mail	fukuda@mein.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-3115	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ	http://www.mein.nagoya-u.ac.jp

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		ナノオーダーの材料やデバイスを自由に操作し，加工することが可能なナノラボラトリを開発し，新規ナノデバイスの創製や既存あるいは新規のデバイスの特性計測を行えるシステムを構築する。
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		走査型電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡の内部に多自由度のナノマニピュレーションシステムを組込み，ナノオーダーの材料やデバイスを自由に操作し，加工することが可能とするための基礎技術の開発とシステム構築。
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		ナノ材料の三次元操作，電界蒸着によるナノ加工，ボトムアップアプローチによる電極製作，切断，観察，計測，評価が可能な統合化システムはこれまでにない。特に三次元操作と多自由度化（現在，合計16自由度）によって，独特のナノデバイス操作に成功している。
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		新規ナノデバイスの創製や既存あるいは新規のデバイスの特性計測を迅速に行える。これまでできなかったことが迅速に行えるため，ナノテクノロジーに関連した各種研究開発を支援するための強力なツールとなる。
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		組織としての仕組みを確立すれば，支援体制を整え，一般への各種サービス，共同研究開発が可能である。
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
					〔　〕有 　〔　〕無

　注意事項：　�@ 記入事項が多い場合は、縦方向に枠の大きさを広げて下さい。

　　　　　　　�A 掲載して頂く技術シーズはシーズ集・ホームページ等での公開を前提に記載していただいています

　　　　　　 　　ので非公開情報の箇所は「非公開」と御記入下さい。