シーズNo.１０４　

平成１６年度「産学官共同研究開発技術シーズ調査票」

研究開発テーマ （シーズ）

Walking Driveによる超精密位置決め装置の開発

技術分野（該当分野に○印を付け別表の該当番号を記入。複数の場合は主なものに◎		研究段階（該当に○）
〔　〕材料（No　　）、 〔　〕ﾊﾞｲｵﾃｸﾉﾛｼﾞｰ（No　　）、 〔　〕情報通信（No　　） 〔○〕機械（No２２）、 〔　〕 医療・福祉（No　　）、 〔　〕 ｴﾈﾙｷﾞｰ（No　　） 〔　〕環境（No　　）、 〔　〕 その他（No　　）		基礎　 　　　 応用
			ａ	ｂ	ｃ	ｄ
					○
キーワード(５つ以内)	超精密位置決め，圧電素子，Walking Drive，送り装置，アライメント

提案者職名・氏名		所属機関名（学部・研究室名）
教授・社本英二		名古屋大学大学院工学研究科 機械理工学専攻 機械科学分野 超精密工学研究グループ
電　話	052-789-2705	Ｅ– mail	shamoto@mech.nagoya-u.ac.jp
FAX	052-789-5305	ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞ	http://www.upr.mech.nagoya-u.ac.jp/

研究開発の目的 （研究の目的、最終的な事業化分野）		超精密位置決め装置は，超精密／微細な加工および計測を必要とする電子デバイス，光学機器などの製造に必要不可欠な機械要素として認識されており，製品の性能向上や次世代の生産のためには超精密位置決め装置のさらなる高精度化，高度化が重要である．本研究では，新しい駆動原理に基づく位置決め装置により，従来の装置では困難であった超精密軌跡制御や真空内での超精密位置決め，高負荷荷重などを実現することを目指す．
研究開発の内容（概要） (研究の内容・課題等を具体的に、必要に応じ資料を添付してください)		下記に述べるWalking Driveと呼ぶ駆動原理によって動作する超精密位置決め装置を開発している．例えば，現在具体的な要求に合わせて，真空内小型超精密アライメント装置、トンオーダの高荷重に耐えられる超精密位置決め装置などを開発中である．
新規性、独創性 (当該シーズの新規性・独創性・優位性等を具体的に)		本研究開発で適用するWalking Driveは，提案者が考案した新しい精密駆動原理であり，動物の歩行動作に類似している．本手法では，アクチュエータとして微小ストロークの圧電素子を利用し，2つの駆動部を人間の2本足のように交互に利用することでテーブルを滑らかにかつ長ストロークにわたって駆動する．電磁モータを利用した従来の技術では，案内部などの摩擦が駆動の妨げとなって精密駆動に不向きであるが，本手法ではがこのような摩擦が存在しないために超精密駆動に適している．また，圧電素子を利用した従来技術である尺取虫方式などに比べると，滑らかに駆動できるなどの点で有用な技術である．
地域経済への波及効果 (本研究によって期待される成果・効果、地域への貢献、産業界へのインパクト等)		超精密な位置決め装置・アライメント装置・送り装置は，半導体製造装置や計測装置など，これからのIT社会に必須の基盤技術である．従って，本研究開発が目指す超精密位置決め装置は，中部地域の産業にとどまらず我が国の生産技術水準を維持する上でも重要な基盤技術であると考えられる．
実用化への見通し (共同研究の相手となる企業・業界、実用化までの期間等)		事業化には，半導体製造装置関連のメーカおよびメカトロ機器の製造装置メーカと共同で実用レベルの超精密位置決め装置およびその制御装置を完成することが必要である．これには数年程度の研究開発期間が必要となると予想される．
関　　連 工業所有権	発明（考案）等の名称		発明者	出願人	外国出願
	ウォーキング動作駆動ユニットおよびそれを用いたアライメント装置		社本英二，山内朗，奈良場聰	社本英二，東レエンジニアリング(株)	〔○〕有 　〔　〕無